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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器
產(chǎn)品型號(hào)：CM501
產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡(jiǎn)單介紹：

詳情介紹：

CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器
隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動(dòng)，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學(xué)過濾器的化學(xué)性能十分重要。
CM501無塵室氣體監(jiān)視器通過使用高靈敏度的擴(kuò)散吸取式采樣器和離子色譜儀，連續(xù)測(cè)量氨氣和酸性氣體。擴(kuò)散吸取式采樣器吸收純水中的氨氣/酸性氣體，然后通過離子色譜儀進(jìn)行分析。CM501無塵室氣體監(jiān)視器實(shí)現(xiàn)了無污染在線氣體監(jiān)視。還可選用多光束型(16點(diǎn))。

CM501無塵室氣體監(jiān)視器

CM501產(chǎn)品宣傳樣本(英文)

CM501技術(shù)規(guī)格(英文)

特性

氨氣測(cè)量靈敏度達(dá)到0.01µg/m³。
酸性氣體(氯化氫，磷酸，二氧化硫等)測(cè)量靈敏度同樣可達(dá)到0.02µg/m³。
采用的離子色譜法是高可靠的分析方法。
采用獨(dú)特的擴(kuò)散吸取式采樣器，樣氣的污染降至*低。
洗滌液消耗*小，且僅需每個(gè)月更換一次洗滌液。
在工作站的曲線圖中進(jìn)行監(jiān)視。
標(biāo)配過濾器生命周期預(yù)測(cè)軟件。
*多可測(cè)量16點(diǎn)的樣氣(選配件)。

規(guī)格

測(cè)量

氨氣或酸性氣體(陰離子分析: 氯化氫，二氧化硫等)

氣體采樣方法

擴(kuò)散吸取式采樣器系統(tǒng)

分析方法

離子色譜法

測(cè)量量程

0～50µg/m³

*小檢測(cè)限制

0.01µg/m³(氨氣)，0.02mg/m³(酸性氣體)

測(cè)量周期

*小周期35分鐘

測(cè)量點(diǎn)

一點(diǎn)或*多16點(diǎn)(選配件)

標(biāo)定

使用標(biāo)準(zhǔn)溶液標(biāo)定，自動(dòng)標(biāo)定

外部接點(diǎn)輸入

測(cè)量流路切換信號(hào)，外部報(bào)警信號(hào)，外部報(bào)警復(fù)位信號(hào)

外部接點(diǎn)輸出

異常濃度信號(hào)，系統(tǒng)報(bào)警信號(hào)，測(cè)流信號(hào)，重測(cè)信號(hào)，液體泄漏信號(hào)，報(bào)警蜂鳴信號(hào)，報(bào)警發(fā)光信號(hào)

電源

100～120V AC，50/60Hz或200～240V AC，50/60Hz

重量

約170kg(不包括化學(xué)溶液，工作站和純水系統(tǒng)。)

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產(chǎn)品名稱：CM501用于半導(dǎo)體工廠的CM501無塵室氣體監(jiān)視器

特性

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