日韩三级中文字幕,亚洲精品乱码久久久久久应用,精品丝袜国产自在线拍

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> 日本YOKOGAWA橫河電機分析儀表產(chǎn)品>

產(chǎn)品詳情

查看大圖

產(chǎn)品名稱：CM505用于半導體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器
產(chǎn)品型號：CM505
產(chǎn)品廠商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：

你添加了1件商品查看購物車

簡單介紹：

CM505用于半導體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物，顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學過濾器的化學性能十分重要。為達到此目的，通常采用的測試方法是塵埃器測定法。然而，傳統(tǒng)的塵埃器測定法不適合長期測量，且會由于操作員引起交叉污

詳情介紹：

CM505用于半導體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器
隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產(chǎn)的推動，**無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物，顯得日益重要。為滿足此要求，監(jiān)視氣態(tài)污染物，并定期檢查化學過濾器的化學性能十分重要。為達到此目的，通常采用的測試方法是塵埃器測定法。然而，傳統(tǒng)的塵埃器測定法不適合長期測量，且會由于操作員引起交叉污

CM505無塵室氣體監(jiān)視器通過塵埃器測定法實現(xiàn)無污染在線氣體監(jiān)視，測量時間為1個小時。還可選用多光束型(16點)。該系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視氨氣(或陽離子)和酸性氣體(陰離子)。

特性

通過塵埃器進**體采樣，同時采集氣體和顆粒/霧狀污染物。
氨氣測量靈敏度達到0.01µg/m³。
酸性氣體(HCl，SO2，NO2)測量靈敏度同樣可達到0.02µg/m³。
系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視硼酸，F(xiàn)^-和有機酸(CH3COO^-，HCOO^-)。
全自動系統(tǒng)及無人測量。
采用高可靠的分析方法，即離子色譜法。
可選化學過濾器生命周期預測軟件和多光束切換型(*多16點)。

規(guī)格

測量

氨氣: NH3

陽離子: Na⁺，NH3，K⁺，Ca²⁺，Mg²⁺

陰離子: Cl^-，Br^-，NO2^-，NO3^-，SO3^2-，SO4^2-，PO4^3-

氟化物/有機酸: F^-，HCOO^-，CH3COO^-，Cl^-

硼: B

氣體采樣方法

塵埃器測定法

分析方法

離子色譜法

測量量程

NH3，陽離子，陰離子: 0～50µg/m³

氟化物/有機酸: F^-，Cl^-: 0～5μg/m³，HCOO^-，CH3COO^-: 0～30μg/m³

B: 0～100ng/m³

*小檢測限制

NH3，陽離子: 0.01μg/m³，酸性氣體: 0.02μg/m³，
PO4M^3-: 0.05μg/m³，F(xiàn)^-，Cl^-: 0.01μg/m³，HCOO^-: 0.05μg/m³，
CH3COO^-: 0.01μg /m³，B: 10ng/m³

測量周期

*短60分鐘或90分鐘

測量點

一點或*多16點(選配件)

標定

使用標準溶液標定，自動標定

外部接點輸入

測量流路切換信號，外部報警信號，外部報警復位信號

外部接點輸出

異常濃度信號(用于每種流體，繼電器接點)，
系統(tǒng)報警信號(繼電器接點)，測流信號(二進制，繼電器接點)，重測信號(繼電器接點)，液體泄漏信號(繼電器接點)，報警蜂鳴信號，報警發(fā)光信號

電源

100～120V AC，50/60Hz

重量

根據(jù)規(guī)格不同，約為150～180kg

* 請輸入您的名字，方便我們和您聯(lián)系

* 請輸入您的電話，方便客服及時解答您的問題

* 請輸入您詳情地址，方便詳細提供當?shù)氐氖袌鲇嵪?

產(chǎn)品名稱：CM505用于半導體工廠的CM505無塵室氣體監(jiān)視器

特性

規(guī)格